Да помогнем на българските болници с дооборудване, поддръжка и сервиз в борбата с COVID-19! Включете се в инициативата ТУК!

Внедрявания

Транспортиране на подложки за полупроводници в безкислородна среда с решение на Festo

25.06.2020 г.

   


Независимо дали става дума за сензори или електроника за коли, смарт телефони, енергоспестяващи лампи или хладилници, полупроводниците са незаменима част от много електронни устройства. „Подложките (б.ред. познати също като „вафли“) играят важна роля в производството на полупроводници. Те са с дебелина от приблизително 1 mm и служат като основа за фотоелектрически покрития и електронни схеми. Предизвикателството се състои в транспортирането и съхранението на подложките, без до тях да има достъп на кислород. Намереното решение на проблема е контейнер, в който непрекъснато се поддържа точно определено количество азот чрез системата за продухване с N2 на Festo“, съобщиха за Инженер.bg от Фесто ЕООД.



Подложките, предназначени за употреба в сензори, компютри, кухненски роботи и други подобни устройства, се произвеждат от монолитна заготовка, наречена „слитък“ и впоследствие биват преработени в микрочипове. Пластините най-често се изработват от металоиди като силиция. При обработката на полупроводници се изисква висока прецизност. Тъй като използваните елементи са с размери от порядъка на микро- и нанометри, върху пластините не трябва да попадат никакви чужди частици. Дори един човешки косъм или малка люспа кожа може да направи крайния продукт неизползваем. Затова през цялото време е необходимо да се спазват стриктните правила на условията за чисти стаи.


Транспортиране в безкислородна среда с FOUP контейнер


Специално внимание се обръща на транспортирането на пластините от една обработваща станция до следващата, тъй като в момента, в който подложките имат досег с кислород, те се оксидират и стават неизползваеми.


Пластините се транспортират в контейнер Front Opening Unified Pod, наричан накратко FOUP. Той е специално разработен за транспортиране в чисти стаи. Във FOUP контейнера се подава непрекъснато азот, който гарантира отсъствието на кислород. Важно е количеството азот да остава постоянно през целия период. Дори и малки отклонения в количеството могат да унищожат чувствителните елементи.



Постоянно подаване на азот със система за продухване с N2


Решението на Festo включва система за продухване с N2, която осигурява постоянно подаване на азот към контейнерите. Предварително сглобеният регулатор на потока захранва непрекъснато FOUP контейнера с инертен азот. Пиезоелектрически вентил и сензор за дебит осигуряват необходимото количество по енергийно-ефективен начин чрез технология за координирано управление.


Системата за продухване с N2 на Festo предотвратява оксидирането на подложките


„Дизайнът на пиезо вентила допълнително намалява риска от замърсяване на газовия поток в резултат на абразивно износване. Максималната стойност е около една частица с размер 0.1 µ на един циркулационен контур, докато при конвенционалните решения количеството частици е пет пъти по-голямо. По този начин се гарантира непрекъснато постоянно количество азот през целия процес“, коментираха в заключение от Фесто ЕООД.


Повече информация за Фесто ЕООД, марките, продуктите и услугите, които предлага у нас, реализации и актуални промоционални кампании, бихте могли да намерите в микросайта на фирмата в Борса.bg!


Източник на снимковия материал: Фесто ЕООД, Festo

Още от КИП и А